水导激光切割设备
水导激光技术将激光技术与高压水射流技术相结合，通过将激光光束在极细的高压水射流（一般为30~120μm）内进行全反射，以“水光纤”的方式进行激光的传导并实现加工。
| 分类 | 指标 | 具体参数 |
| 机械系统 | 运动轴数 | 3轴（X/Y/Z） |
| 定位精度X/Y（μm） | ±3 | |
| 重复定位精度X/Y（μm） | ±1 | |
| 直线度X/Y/Z（μm） | 100mm内 | |
| 垂直度X/Y（μm） | 10 | |
| 垂直度Z/XY（μm） | ≤1 | |
| 最大运行速度X/Y/Z（mm/s） | 500/500/150 | |
| 加工系统 | 水光束最小直径（μm） | 50/80 |
| 水光束最大长度（mm） | 70 | |
| 激光系统 | 激光波长（nm） | 532±1 |
| 空间光平均输出功率（W） | ≥100 | |
| 脉冲宽度（ns） | 100—300 | |
| 重复评率（KHz） | 6—40 | |
| 功率稳定性 | 10—100% | |
| 光束质量/bpp（mm·mrad） | 4-8 | |
| 光斑圆度 | ＞85% | |
| 输出光纤芯径（μm） | 150 | |
| 输出光纤NA | 0.067 | |
| 输出光纤接头类型 | QBH |
超快激光玻璃焊接设备
超快激光由于其较短的脉宽，能在较短时间内产生高强度的光强，当激光强度超过玻璃改性阈值时，玻璃内部会发生一系列非线性吸收反应，玻璃在焦点处发生熔融现象，最终实现两块玻璃之间的焊接封装。
| 序号 | 名称 | 指标参数 |
| 1 | X轴行程 | 10—2500mm |
| 2 | Y轴行程 | 10—500mm |
| 3 | Z1轴行程 | 0—240mm |
| 4 | Z2轴行程 | 10mm |
| 5 | X、Y轴定位精度 | 5μm |
| 6 | Z1轴定位精度 | 10μm |
| 7 | Z2轴定位精度 | 3μm |
| 8 | X、Y轴重复定位精度 | 3μm |
| 9 | Z1轴重复定位精度 | 5μm |
| 10 | Z2轴重复定位精度 | 1μm |
| 11 | X、Y、Z1最大轴加速度 | 0.5G |
| 12 | Z2轴最大加速度 | 1G |
| 13 | X、Y轴最大速度 | 300mm/s |
| 14 | Z1轴最大速度 | 100mm/s |
| 15 | 主要功能 | 焦点跟随、自动寻焦、双块玻璃间隙检测 |
激光焊接熔深监测设备
激光焊接在加工过程中会在熔池中心产生匙孔，匙孔底部靠近熔池底部。本技术采用光学低相干技术，通过与焊接激光同轴的探测光进行精准的距离测量，探测光会在熔池匙孔底部反射，携带匙孔深度等信息，从而实现焊接全过程中的熔池直接测量，且无需损坏样品本身。
| 技术参数 | 技术指标 |
| 视场范围 | 直径40mm（搭配焊接头 150*150mm（搭配振镜） |
熔池深度误差 探测精度 | ≯10% |
| 采样频率 | 250kHz |
| 控制主机尺寸 | 480 ×495×178mm |
| 光学机箱尺寸 | 482 ×520×178mm |
| 参考臂尺寸 | 770×370×107mm |
| 参考臂重量 | 5KG |
| 样品臂尺寸 | 168×169×80mm |
| 样品臂重量 | 2.5KG |
| 通讯接口 | I/O接口；模拟量接口 |